[发明专利]一种铟锡氧化物磨球的制备方法在审
申请号: | 202010584263.7 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN111807832A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 师琳璞;王政红;张秀勤 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 |
主分类号: | C04B35/457 | 分类号: | C04B35/457;C04B35/622;C09K3/14;B28B3/00;B28B3/12 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 逯雪峰 |
地址: | 471000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: |
一种铟锡氧化物磨球的制备方法,将氧化铟粉和氧化锡粉加入水中进行混合、研磨、造粒,得到造粒粉,氧化铟粉的重量比例为氧化铟粉和氧化锡粉总重量的90%‑97%;然后将造粒粉装入模具进行冷等静压处理,得到坯体,对坯体进行破碎和筛分,得到晶种;以晶种作为球坯的核心,使造粒粉和晶种进行滚制成型,得到球坯;对球坯的表面进行蜡封,然后对球坯进行冷等静压处理;再对冷等静压后的球坯进行脱脂处理,对脱脂后的球坯进行烧结,得到铟锡氧化物磨球。本发明通过滚制成型、冷等静压、烧结相配合的方法得到密度高、晶粒小的铟锡氧化物磨球,用本发明的磨球制备得到的ITO靶材密度大于7.12 g/cm |
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搜索关键词: | 一种 氧化物 制备 方法 | ||
【主权项】:
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