[发明专利]一种铟锡氧化物磨球的制备方法在审

专利信息
申请号: 202010584263.7 申请日: 2020-06-24
公开(公告)号: CN111807832A 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 师琳璞;王政红;张秀勤 申请(专利权)人: 中国船舶重工集团公司第七二五研究所
主分类号: C04B35/457 分类号: C04B35/457;C04B35/622;C09K3/14;B28B3/00;B28B3/12
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 逯雪峰
地址: 471000 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种铟锡氧化物磨球的制备方法,将氧化铟粉和氧化锡粉加入水中进行混合、研磨、造粒,得到造粒粉,氧化铟粉的重量比例为氧化铟粉和氧化锡粉总重量的90%‑97%;然后将造粒粉装入模具进行冷等静压处理,得到坯体,对坯体进行破碎和筛分,得到晶种;以晶种作为球坯的核心,使造粒粉和晶种进行滚制成型,得到球坯;对球坯的表面进行蜡封,然后对球坯进行冷等静压处理;再对冷等静压后的球坯进行脱脂处理,对脱脂后的球坯进行烧结,得到铟锡氧化物磨球。本发明通过滚制成型、冷等静压、烧结相配合的方法得到密度高、晶粒小的铟锡氧化物磨球,用本发明的磨球制备得到的ITO靶材密度大于7.12 g/cm3,纯度大于99.99%,能够满足ITO靶材制备的研磨需要。
搜索关键词: 一种 氧化物 制备 方法
【主权项】:
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