[发明专利]一种“十”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺在审
| 申请号： | 202010584698.1 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111595322A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;李备;朴然;李美樱;王灯山 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种“十”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和六对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器、一对热敏电阻和一个X/Y方向的热敏电阻构成一个测量单元；四对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间三轴角速度的同时测量，具有很高的集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 字型 推挽流 微机 械三轴 薄膜 陀螺 | ||
【主权项】：
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