[发明专利]一种基于压电陶瓷精密位移的激光调阻方法

摘要

本发明公开一种基于压电陶瓷精密位移的激光调阻方法，涉及激光精细加工领域，包括光束整形头、压电陶瓷位移模块和脉冲激光器，所述脉冲激光器与光束整形头连接，所述压电陶瓷位移模块设于光束整形头内，所述光束整形头内设有准直镜片，所述准直镜片用于保证入射光可以整形成为平行光，所述压电陶瓷位移模块用于控制准直镜片位移，通过压电陶瓷位移模块对光束整形头内的准直镜片进行纳米级的位移控制，来精确控制激光束在片状电阻上的刻蚀的长度，位移精度高，电阻可调精度高，可以获得更高精度的电阻元件。