[发明专利]深冷靶低温吸附抑制开启机构有效
| 申请号： | 202010585312.9 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111863284B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 黎军;雷海乐;刘喜川;代飞;王凯;林伟;漆小波;陶朝友;李喜波;刘元琼 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G21B1/03 | 分类号： | G21B1/03;G21B1/13;G21B1/19 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 张汉钦 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种深冷靶低温吸附抑制开启机构，用于在激光注入靶点前迅速将深冷靶直接暴露，包括：安装于所述悬臂基座上的电机驱动单元，包括驱动电机；安装于所述悬臂基座上的丝杆传动机构，包括运动架，用于将所述驱动电机的转动转化为所述运动架的前后向直线运动；以及前部防护部件，包括从内向外依次设置的、前端开口的低温活动屏和常温活动屏，以及具有导冷、导向作用的低温固定屏和常温固定屏。该深冷靶低温吸附抑制开启机构，低温活动屏和常温活动屏具有伸缩功能，即在对深冷靶进行有效保护，减少杂质气体和有机物质冷冻吸附到靶表面，又可在需要时快速地将深冷靶直接暴露于真空腔体环境内。 | ||
| 搜索关键词： | 深冷靶 低温 吸附 抑制 开启 机构 | ||
【主权项】：
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