[发明专利]柔性玻璃上溅射沉积压电薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种柔性玻璃上溅射沉积压电薄膜的方法。该方法包括：S1、将清洗后的柔性玻璃紧贴在磁控溅射镀膜机的真空腔中的基片冷却装置的表面；S2、之后抽真空至真空度达到10‑7～10‑3Pa；S3、采用原子层沉积方法在所述柔性玻璃的表面沉积ZnO或者AlN纳米级别的薄膜得到镀膜柔性玻璃；S4、向所述真空腔中动态地通入工作气体，所述工作气体总压强为0.2～10Pa；S5、启动磁控溅射源，在所述镀膜柔性玻璃上反应溅射沉积压电薄膜，之后向磁控溅射镀膜机真空腔中放入大气，取出样品。本发明实现了在柔性玻璃上溅射沉积压电薄膜。