[发明专利]用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法在审
| 申请号： | 202010586442.4 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111669143A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 邵率;罗智方;吴涛 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;B01L3/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 徐俊 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法，其特征在于，包括用于固定电极的有源压电层，有源压电层固定于硅衬底上，电极用于驱动谐振。在有源压电层上方有结构压电层，在两压电层间有利用牺牲层工艺形成空腔，有源压电层、空腔和结构压电层组合形成了谐振微流道结构。谐振微流道结构可以释放，形成悬浮结构，也可以不释放。工作时，液体被注入微流道结构中，谐振微流道结构的谐振频率由于充满液体而发生变化，不同液体的粘性阻尼不同，对谐振频率的影响程度也不同，与在空气环境中的本征谐振频率相比较，完成检测过程。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 液体 检测 压电 谐振 微流道 制备 方法 | ||
【主权项】：
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