[发明专利]一种基于氧族化合物薄膜的选通器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010587497.7 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111725399A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 宋成;孙一鸣;潘峰;乔磊磊;曾飞 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于氧族化合物薄膜的选通器及其制备方法。本发明通过在制备过程中调控氧族元素(包括O、S、Se、Te等)在化合物薄膜中的化学计量比，实现对于选通器工作电流上限的调控，可以根据不同的需求制备出符合要求的选通器，更有利于其在高密度集成和神经计算电路中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 化合物 薄膜 选通器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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