[发明专利]一种应用于6G通信的三维发夹滤波器

摘要

本发明公开了一种应用于6G通信的三维发夹滤波器，包括平行排列的发夹单元列和上接地RDL，发夹单元列由多个发夹单元间隔排列组成，发夹单元一端为信号TSV，相对的另一端为信号RDL，相邻发夹单元的上下端面结构相反，发夹单元列两端顶部设置有相对称的信号馈线，发夹单元列两端端部的发夹单元顶面均为信号RDL，上接地RDL顶部设置有与信号馈线相对的接地馈线，上接地RDL底部设置有下接地RDL，上接地RDL和下接地RDL之间设置有与信号TSV相对的接地TSV，信号TSV和接地TSV嵌入在同一硅衬底中。本发明三维发夹滤波器采用TSV技术成功实现了三维发夹滤波器在THz频段的设计，采用四臂发夹单元提高了滤波器通带内回波损耗，使得性能提高。