[发明专利]基于六方氮化硼厚膜的深紫外光电探测器及制备方法

摘要

一种基于六方氮化硼厚膜的深紫外光电探测器及制备方法，包括衬底、紫外光敏层和叉指电极，其中紫外光敏层为高质量六方氮化硼厚膜，对日盲波段有很好的响应。所述六方氮化硼厚膜本身具有的固有性能非常卓越，通过离子束溅射沉积方法制备六方氮化硼厚膜纯度非常高，具有良好的稳定性、厚度可控、无毒无污染等优点，通过掺杂目标杂质可以调整带隙宽度，从而提高了深紫外光电探测器的光电导增益和短波段光响应，实现紫外光电探测器对日盲波段的有效探测。