[发明专利]一种蒸镀装置及显示面板的制备方法在审
| 申请号： | 202010588909.9 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111748767A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 宋楠楠 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置及显示面板的制备方法。所述蒸镀装置包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸镀显示面板的发光材料层，所述第二掩膜版用于蒸镀所述显示面板的微共振腔调整层；所述第一掩膜版包括第一开口区和第二开口区，所述第二掩膜版包括第三开口区和第四开口区，所述第一开口区和所述第三开口区均对应于所述显示面板的显示区，所述第二开口区和所述第四开口区均对应于所述显示面板的非显示区；其中，所述第一开口区内的多个开口与所述第三开口区内的多个开口重合，所述第二开口区内的多个开口与所述第四开口区内的多个开口错开。当发生混色时，可通过非显示区内的膜层位置分析混色原因，解决混色问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 显示 面板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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