[发明专利]共面铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 202010589050.3 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111682074A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李泠;段新绿;卢年端;耿玓;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及薄膜晶体管技术领域，尤其涉及共面铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法。包括绝缘层衬底、有源层、栅介质层、栅电极、中间介质层和源漏电极；有源层形成在绝缘层衬底上，有源层为铟镓锌氧薄膜；栅介质层形成在有源层上；栅电极形成在栅介质层上；中间介质层在顺次对栅介质层和有源层图形化后，形成在绝缘层衬底、有源层、栅介质层和栅电极上，中间介质层为Al |
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| 搜索关键词： | 共面铟镓锌氧 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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