[发明专利]玻璃底片平面度校正装置及方法有效
| 申请号： | 202010590257.2 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111769028B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 杨海马;张向鸿;张大伟;赵建海;唐正宏;张鹏程;刘瑾;李筠;丁毅凡 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/317;C03B23/02 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 颜爱国 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 根据本发明的玻璃底片平面度校正装置及方法，玻璃底片平面度校正装置包括支架、电子枪、电极阵列单元以及控制单元，玻璃底片设置在支架上；电极基板设置在平台上，多个电极以阵列的形式排布设置在电极基板上，调整线圈设置在电子枪和电极基板之间且位于电极基板与玻璃底片之间的狭缝前，电子枪用于向玻璃底片底面进行电子轰击，使得玻璃底片带有负电荷，电子枪产生的电子束向玻璃底片下方和电极上方的狭缝中直射，控制单元控制电子束在调整线圈的作用下向上偏转射向玻璃底片的底面，控制单元与电极基板上多个电极分别相连，控制多个电极分别产生负电荷，对玻璃底片产生电场作用力，从而从而实现对由于重力产生弯曲变形的玻璃底片进行校正。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 底片 平面 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
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