[发明专利]一种带导光结构的光电二极管及其制作方法

摘要

本发明公开了一种带导光结构的光电二极管及其制作方法，包括衬底、光电转换结构和导光结构，光电转换结构设于所述衬底之上且顶面设有收光口，导光结构包括设于收光口之上的锥形导光孔和设于锥形导光孔内侧壁的高反射层，其中锥形导光孔由覆盖光电转换结构顶部的有机聚合物层开口形成，锥形导光孔的底部孔径与所述收光口相对应，顶部孔径大于底部孔径。本发明在光电二极管光敏面上利用半导体微加工技术制作了一个具有较大收光孔径的导光结构，可提高光纤耦合效率，降低封装成本。