[发明专利]一种镜头角度调节装置、调节方法及光刻机在审
| 申请号： | 202010592055.1 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111880377A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 于向前;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镜头角度调节装置、调节方法及光刻机，属于镜头调节技术领域。所述镜头角度调节装置，其包括支撑板、安装架、固定销轴、旋转销轴和第一顶丝；其中，安装架一端用于安装镜头，另一端设置有与支撑板连接的法兰；固定销轴和旋转销轴均用于连接法兰和支撑板，固定销轴与法兰紧配合，旋转销轴与法兰松配合；第一顶丝安装在法兰上，并能顶紧在旋转销轴的周向上。所述镜头角度调节方法，通过调节上述的镜头角度调节装置进行调节。所述光刻机包括上述镜头角度调节装置。本发明的镜头角度调节装置、调节方法及光刻机，转动第一顶丝来推动旋转销轴，带动法兰绕固定销轴转动，实现了镜头角度调节，提高了调节效率、调节精度及调节灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜头 角度 调节 装置 方法 光刻 | ||
【主权项】：
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