[发明专利]一种柔性TFT器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202010594145.4 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111900252A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 龚岩芬;龚政;胡诗犇;陈志涛;郭婵;王建太;庞超;潘章旭;刘久澄 | 申请（专利权）人： | 广东省半导体产业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/40 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种柔性TFT器件及其制备方法。本发明的柔性TFT器件依次包括柔性衬底、PI黏附层、栅电极、介电层、PαMS修饰层、半导体层、界面修饰层和源漏电极层，所述栅电极含有PEDOT:PSS，所述介电层含有PDMS‑HfO |
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| 搜索关键词： | 一种 柔性 tft 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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