[发明专利]用于利用电子显微镜从生命科学样本的连续超薄切片记录纳米分辨率3D图像数据的方法在审
申请号: | 202010596197.5 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN112147170A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | H·费利佩奥;C·莱维恩;T·弗兰克 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G01N23/2251 | 分类号: | G01N23/2251;G01N23/2255 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张凌苗;申屠伟进 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 用于利用电子显微镜从生命科学样本的连续超薄切片记录纳米分辨率3D图像数据的方法。使位于衬底上的试样切片的试样图像对准的方法包含获得所述衬底的光学或SEM图像,以及定位和对准每一试样切片的光学或SEM图像。接着利用SEM使所述试样切片成像以获得预览图像,且选择所述预览图像中的至少一个中的关注区(ROI)。处理所述预览图像使得至少所述预览图像的接近所述ROI的部分对准。基于所述预览图像的所述对准,获得选定试样切片的最终SEM图像,使得在三维中对准的一组图像可用。图像对准可使用与固定或可变参考的交叉相关,所述固定或可变参考可随着试样切片图像被处理而更新。 | ||
搜索关键词: | 用于 利用 电子显微镜 生命科学 样本 连续 超薄 切片 记录 纳米 分辨率 图像 数据 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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