[发明专利]用于真空系统的后级泵控制系统及控制方法有效
| 申请号： | 202010596607.6 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111734615B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 尚元贺;蔡克亚;张子奇;韩乐乐;李向广 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/00 | 分类号： | F04B49/00;F04B49/02;F04B49/22;F04B49/20;F04B49/06 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 | 代理人： | 韩华 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空系统的后级泵控制系统及控制方法，包括真空腔室、后级泵、前级泵、电控阀、真空传感器、控制单元；后级泵抽气口与真空腔室连通，后级泵排气口通过电控阀与前级泵抽气口连通；控制单元信号输入接口分别与真空传感器和后级泵内置温度传感器连接，控制单元控制输出接口分别与前、后级泵控制器和电控阀控制器输入接口连接。本发明通过设置控制单元，便于实时控制前、后级泵开/关闭及调节后级泵转速，及时测量真空腔室真空度和后级泵工作温度，便于调节后级泵抽速，确保了后级泵使用寿命和工作稳定性，降低了功耗，整个真空系统兼顾了体积小与抽速快的优点，便于整个真空系统的集成，相较于前级泵外设方式简化了气路结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 系统 后级泵 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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