[发明专利]一种超滑滑块的拾取与翻转方法有效
申请号: | 202010597232.5 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN111824735B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 郑泉水;王琨淇;姜海洋 | 申请(专利权)人: | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
主分类号: | B65G47/248 | 分类号: | B65G47/248 |
代理公司: | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人: | 满群 |
地址: | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供在制备或检测超滑滑块过程中的超滑滑块的拾取与翻转方法,该方法在推动超滑滑块的过程中,将上层滑块继续推动至下层基底的边缘附近,拨动上层滑块,使其相对于下层基底发生转动,并使滑移面进入共度状态而锁死。利用该锁死状态,将上层滑块翻转,并至于目标位置。本发明简单易用,成本低廉,且适用于约2μm至10μm尺寸的超滑滑块的检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 超滑滑块 拾取 翻转 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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