[发明专利]晶圆清洗设备在审
| 申请号： | 202010597933.9 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111889443A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张鹏飞;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶圆清洗设备，该设备包括：清洗槽，用于盛放清洗液；喷淋机构，该喷淋机构设置于清洗槽顶部的内侧壁；循环管路，该循环管路的进液口与清洗槽的底部连通，循环管路的出液口与喷淋机构连通，用于将清洗液从清洗槽的底部循环导入至清洗槽的顶部。本发明的晶圆清洗设备改变现有的双槽结构和清洗液溢流的循环方式，清洗液由清洗槽的底部经过循环管路直接流入到清洗槽的顶部，促使在清洗槽内的流场和重力场始终向下，减少流场死区，从而减少槽内污染及接触点的颗粒聚集。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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