[发明专利]一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统有效
| 申请号： | 202010598314.1 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111754490B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 刘帅;谢成;成秋云;朱辉;张春城;吴德轶 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/13;G06T7/181;G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 廖元宝 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统，属于管式PECVD设备技术领域，用于解决目前倒片检测结构复杂、检测精度低的技术问题，此方法包括步骤：获取在石墨舟的不同位置采集的石墨舟图像；2)对各石墨舟图像进行图像处理，得到石墨舟图像中硅片边缘与较近的石墨舟槽边缘距离的较大距离值；3)基于较大距离值判断对应的石墨舟槽内的硅片是否存在倒片。本发明具有检测精度高、检测可靠性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 视觉 石墨 舟倒片 检测 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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