[发明专利]一种三氧化二镓日盲紫外探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010598387.0 申请日: 2020-06-28
公开(公告)号: CN111628019B 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 刘可为;孙璇;申德振;陈星;张振中;李炳辉 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/108;H01L31/18;C23C16/40
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李伟
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了一种Ga2O3紫外探测器,包括依次叠加设置的衬底、Ga2O3:Zn薄膜和金属叉指电极。本申请还提供了一种Ga2O3紫外探测器的制备方法。本发明提供的Ga2O3紫外探测器的Ga2O3薄膜层具有结晶质量高、吸收截至边陡峭等特点,进而使包含Ga2O3薄膜层的紫外探测器同时具有非常高的响应速度和较低的暗电流。
搜索关键词: 一种 氧化 二镓日盲 紫外 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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