[发明专利]一种场诱应变微位移致动器及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种场诱应变微位移致动器及其制备方法与应用。所述场诱应变微位移致动器由方形压电陶瓷薄片作为位移元件、方形不锈钢金属薄片作为引出电极交替堆叠构成，所述方形压电陶瓷薄片的材料化学组成为Pb0.9625Sm0.025[(Mg1/3Nb2/3)1‑xTix]O3，0.28≤x≤0.31。所述场诱应变微位移致动器的制备方法是以环氧树脂为粘结剂，方形压电陶瓷薄片与方形不锈钢金属薄片交替堆叠固化而成。本发明所制备的场诱应变微位移致动器具有大的位移输出、小的迟滞、良好的重复稳定性。在最优条件下，长度为26.24mm的致动器在室温1kV驱动电场下产生的位移量可达14.25μm，在精密定位领域具有广泛的用途。