[发明专利]一种基于内扩散和离子注入的铌酸锂波导制备方法有效
| 申请号： | 202010602370.8 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111722318B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;孙嘉良;游天桂;林家杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;G02B6/136;G02B6/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种基于内扩散和离子注入的铌酸锂波导制备方法，包括以下步骤：获取铌酸锂晶体；在所述铌酸锂晶体表面沉积钛层，将沉积有钛层的铌酸锂晶体进行高温扩散处理，获得钛扩散后的铌酸锂晶体；对所述钛扩散后的铌酸锂晶体进行清洗处理，去除所述光刻处理后残留的光刻胶以及所述高温扩散处理后残余的钛层；对所述钛扩散后的铌酸锂晶体进行区域离子注入处理，获得注入离子后的铌酸锂晶体；其中，所述区域离子注入处理中注入的离子为能够提高所述铌酸锂晶体抗光折变性的离子；对所述注入离子后的铌酸锂晶体进行退火处理。该制备方法在内扩散技术的基础上注入能够提高铌酸锂抗光折变性的离子，能够有效减小铌酸锂光波导光损伤效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扩散 离子 注入 铌酸锂 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
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