[发明专利]一种薄膜体声波谐振器的制备方法在审
| 申请号： | 202010603082.4 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111817681A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;李忠旭;黄凯;赵晓蒙;李文琴;鄢有泉;陈阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器的制备方法，涉及半导体器件技术领域。本发明的薄膜体声波谐振器的制备方法，包括以下步骤：对压电单晶衬底的正面进行离子注入形成注入损伤层，在压电单晶衬底的正面进行金属沉积，并图案化；在衬底晶圆的正面进行刻蚀，并图案化；将压电单晶衬底的正面与衬底晶圆的正面进行键合，形成键合结构；对键合结构进行退火处理，使键合结构沿注入损伤层剥离，得到位于衬底晶圆上的压电单晶薄膜；在压电单晶薄膜的表面制作电极，得到薄膜体声波谐振器。本发明可以实现衬底晶圆上的特定厚度薄膜的转移，解决了压电单晶薄膜的厚度不均匀性的问题，本发明制备的薄膜体声波谐振器的器件性能稳定，良率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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