[发明专利]一种钝化金属接触的背结太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及一种钝化金属接触的背结太阳能电池及其制备方法。该方法包括：在硅片的正面采用带负电荷的材料制备介质膜，该介质膜用于提供反型层，以代替n+前场；在介质膜上制备钝化减反射膜；在硅片背面采用激光进行局域开槽，形成激光开槽区域和激光未开槽区域；在硅片背面沉积隧穿氧化层和多晶硅薄膜层；在硅片背面的激光开槽区域注入磷原子，在硅片背面的激光未开槽区域注入硼原子；对硅片进行退火处理，以激活激光开槽区域的磷原子和未开槽区域的硼原子，以在激光开槽区域形成重掺杂的n+poly背场，在激光未开槽区域形成重掺杂的p+poly发射极；对退火后的硅片进行背面钝化和背面金属化处理。