[发明专利]药液混合装置及药液混合补水系统在审
| 申请号： | 202010605541.2 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111760481A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 赵艳霞;许璐 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01F5/10 | 分类号： | B01F5/10;B01F15/00;B01F15/02 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种药液混合装置及药液混合补水系统，药液混合装置包括：药液罐，顶部设有药液入口、补水口和药液循环入口，底部设有药液出口；药液供给管路，出口端连接药液入口，入口端连接药液供给端，药液供给管路上设有第一阀门；补水管路，出口端连接补水口，入口端连接补水端，补水管路上设有第二阀门；药液输出管路，入口端连接药液出口，出口端连接产品清洗端，药液输出管路上设有循环泵和第三阀门，位于循环泵的下游；药液混合管路，入口端连通循环泵与第三阀门之间的药液输出管路，出口端连通药液循环入口，药液混合管路上设有药液混合元件；浓度检测单元，用于检测药液罐内药液的浓度。本发明可实现对补水后的清洗药液进行充分的混合。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 混合 装置 水系 | ||
【主权项】：
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