[发明专利]一种二维材料极化激元增强的红外光探测器及其制备方法

摘要

一种二维材料极化激元增强的红外光探测器及其制备方法涉及红外探测器技术领域，解决了现有探测器难以实现极化激元在中、远红外领域应用的问题，包括基底、设置在基底上的介电层、设置在介电层上的具有极化激元特性的二维材料阵列、设置在二维材料阵列上的窄带隙二维半导体材料层和设置在窄带隙二维半导体材料层上的金属电极。制备方法为在介电层上制备二维材料阵列；在二维材料阵列上制备窄带隙二维半导体材料层；在窄带隙二维半导体材料层上制备金属电极。本发明利用二维材料阵列的极化激元提高探测器在中远红外波段响应，采用窄带隙二维材料层有效地感应二维材料阵列中极化激元的强局域场，并提取为电流信号读出，实现高响应的中远红外光探测。