[发明专利]衍射光学元件及其制造方法在审
| 申请号： | 202010608194.9 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN112180486A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 单延泉;张广军;钱鹏翔;托马斯·维格 | 申请（专利权）人： | 肖特玻璃科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 215009 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种衍射光学元件，其包括具有对于干蚀刻工艺不同的蚀刻速度的至少两个层。该衍射光学元件包括玻璃衬底(12)和布置在玻璃衬底(12)上的微结构层(10)。玻璃衬底(12)在厚度方向上的干蚀刻速度与微结构层(10)在厚度方向上的干蚀刻速度的比率不大于1:2、优选不大于1:5、更优选不大于1:10、或者最优选不大于1:20，使得衬底起蚀刻停止层的作用。玻璃衬底(12)在水平方向上的干蚀刻速度与微结构层(10)在水平方向上的干蚀刻速度基本上相等。玻璃衬底(12)的成分包含但不限于Al |
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| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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