[发明专利]制备金刚石单晶的激光等离子体CVD设备及其工作方法

摘要

本发明公开制备金刚石单晶的激光等离子体CVD设备及其工作方法，包括下箱体、上箱体，下箱体与上箱体之间通过铰链转动连接，上箱体上安装有两个激光灯，下箱体一侧设置有微波发生器，微波发生器上安装有微波发射喇叭，微波发射喇叭贯穿下箱体侧壁，下箱体内安装有下基座，下基座上转动设置有下基台。本发明通过甲烷、丙酮、二氧化碳混合气体的储存设备通过碳气管向上箱体与下箱体形成的空间通入混合气体，开启激光灯，激光灯对籽晶进行照射，开启第一电机，两个第一电机输出轴配合齿轮带动齿盘转动，齿盘通过下基台带动籽晶转动，籽晶进行生长，解决现有技术中激光灯对籽晶的照射不全面，导致籽晶生长不快的技术问题。