[发明专利]激光器发散角测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 202010609595.6 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111795806B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;徐长达;陈少康;金亚;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 雄芯光电科技有限责任公司;中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 071899 河北省保定市雄县朱各*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本公开提供一种激光器发散角测量系统及测量方法，该测量系统包括：待测激光器单元，包括可移动的多个待测激光器；列探测器，设置于待测激光器的出光向一侧，包括沿直线均匀排布于一旋转支架上的多个探测器；以及测试探针，用于对多个待测激光器之一的位于列探测器中心法线的被测激光器进行电注入使被测激光器导通发射激光；其中，所述列探测器能够在被测激光器出光面旋转形成圆形探测截面，顺次完成所有待测激光器发散角的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 发散 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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