[发明专利]微机电系统结构的调控方法及装置有效
| 申请号： | 202010610478.1 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111811426B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王兴华;刘红卫;韩伟;熊丹;付康佳;黄奕勇 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01H13/00 |
| 代理公司： | 北京丰浩知识产权代理事务所(普通合伙) 11781 | 代理人： | 王纯富 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电系统结构的调控方法及装置，获取微机电系统中微结构的当前面型以及微机电系统的当前谐振频率；获取目标面型及目标谐振频率，根据当前面型及目标面型、当前谐振频率及目标谐振频率综合确定矫正位置与矫正值；根据矫正值调整多个微加热器组成的阵列，确定微加热器中每个导热硅柱的通电电流/电压；根据调整后的多个微加热器阵列及确定的电流/电压，对微结构的当前面型进行矫正，对微结构的当前面型进行迭代矫正，直到当前面型与目标面型的差值小于预置误差范围内。本发明通过在关键结构上施加精确的控制应力，及时修正其力学特性的微小变化，提高微机电系统的工作稳定性，应用于工业过程控制、通讯、计算机等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 结构 调控 方法 装置 | ||
【主权项】：
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