[发明专利]一种压电驱动器的制作方法在审
申请号: | 202010611250.4 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111785827A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 张婷;程晨;肖倩;朱建华;施威;李秀山;王智会 | 申请(专利权)人: | 深圳振华富电子有限公司 |
主分类号: | H01L41/257 | 分类号: | H01L41/257;H01L41/27;H02N2/00;H02N2/02;H02N2/04 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 刘艳 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种压电驱动器的制作方法,提供多个芯片瓷体,通过无机胶将多个芯片瓷体粘结在一起,形成堆栈结构;提供夹具,将堆栈结构固定于夹具上;对夹具上的堆栈结构进行烧结处理,使得堆栈结构中的无机胶固化;对堆栈结构的相对的两个侧面进行被银处理,以在堆栈结构上形成两个被银面;对堆栈结构进行极化处理;在堆栈结构的两个被银面上连接外电极片和引线,从而得到压电驱动器。相比于环氧树脂胶,无机胶的耐受温度更高,在被银处理过程中,无机胶所形成的粘结层并不会失效,故任意相邻两个芯片瓷体粘结紧密,多个芯片瓷体间可以更有效进行电学并联,从而有效防止压电驱动器的芯片瓷体间接触不良,使得所制作的压电驱动器质量稳定、可靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 驱动器 制作方法 | ||
【主权项】:
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