[发明专利]一种垂直结构氮化物RC LED和制备方法在审
| 申请号： | 202010611853.4 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111725367A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 汪炼成;龙林云;高祥;万荣桥;徐意 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/00 |
| 代理公司： | 长沙永星专利商标事务所(普通合伙) 43001 | 代理人： | 周咏;林毓俊 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种垂直结构氮化物RC LED及其制备方法，由下到上包括导电衬底、氮化物DBR1、氮化物层1、多量子阱有源区层、氮化物层2、透明导电插入层、氮化物DBR2，所述导电衬底和氮化物DBR2上均设有金属电极。本发明中的氮化物DBR1和氮化物DBR2是利用磁控溅射制备的材料，其晶体结构是多晶甚至非晶的，因此可以减少应力和应力累计。本发明中氮化物DBR1和氮化物DBR2由Al |
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| 搜索关键词： | 一种 垂直 结构 氮化物 rc led 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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