[发明专利]一种可调控硅片亲疏水性的制绒添加剂及制绒方法在审

专利信息
申请号: 202010612091.X 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN111876831A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 李然;范云堂;程寒松;闫缓 申请(专利权)人: 杭州聚力氢能科技有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C30B29/06
代理公司: 浙江杭知桥律师事务所 33256 代理人: 刘韵遥
地址: 311305 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及单晶硅片制绒剂技术领域,尤其涉及一种可调控硅片亲疏水性的制绒添加剂及制绒方法。一种可调控硅片亲疏水性的制绒添加剂,包括亲水配方和疏水配方,亲水配方按照重量百分比计包括:木质素磺酸钠0.05‑0.1%,亚甲基双萘磺酸钠0.0001‑0.001%,余量为水;疏水配方按照重量百分比计包括:木质素磺酸钠0.05‑0.1%,亚甲基双萘磺酸钠0.0001‑0.001%,聚乙醇甲醚0.03‑0.1%,余量为水。本发明的制绒添加剂及制绒方法,能根据需要有效地调控硅片的亲疏水性,只需要在亲水配方中额外添加聚乙醇甲醚,即可使制绒后硅片通过氢氟酸酸洗后达到疏水状态,操作工艺简单,可简便地实现亲疏水性的转换,满足不同的加工需要。
搜索关键词: 一种 调控 硅片 亲疏 水性 添加剂 方法
【主权项】:
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