[发明专利]一种硬质涂层及其制备方法与应用

摘要

本发明公开一种硬质涂层及其制备方法与应用。所述硬质涂层的制备技术为持续高功率磁控溅射技术；其中，平均功率密度80W/cm2。本发明所述的镀膜技术为新型磁控溅射技术，具有高功率、高离化、高速沉积的特点。制备的涂层力学性能和沉积速率可以达到电弧离子镀水平，但离子束流中不含金属液滴，可有效降低涂层表面粗糙度，提高涂层致密度，进而大幅度提高其抗腐蚀和耐高温氧化性能。所述新型磁控溅射技术可以在基底表面制备多种二元或多元金属氮化物、氧化物、碳化物、硅化物以及硼化物等硬质涂层，具有广阔的应用价值。