[发明专利]热电堆传感器及其制作方法、电子设备有效
| 申请号： | 202010615259.2 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN112117361B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 黄河 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/08;H01L35/10;H01L35/34;F16L59/02;G01J5/48;G01J5/12;G01J5/14;G01K7/00 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热电堆传感器及其制作方法、电子设备，热电堆传感器包括沿入射辐射方向依次设置的：热电堆结构板，所述热电堆结构板具有热辐射感应区，所述热辐射感应区中形成有热电堆结构；支撑层；电路基板，所述电路基板、所述热电堆结构板、和所述支撑层之间围成有第一空腔，且所述热电堆结构设置在所述第一空腔的上方，所述第一空腔的底部配置有热辐射反射板和热辐射隔离板，所述热辐射反射板位于所述热辐射隔离板的上方，从而能提高热电堆传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 传感器 及其 制作方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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