[发明专利]一种MEMS麦克风芯片有效
| 申请号： | 202010615637.7 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111757223B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 柏杨;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风芯片，该芯片包括中部形成背腔的基底、设置于所述基底上的振膜以及相对所述振膜远离所述基底一侧设置的背板，所述振膜与其正对的基底之间间隔形成第一振动空间，所述振膜向靠近所述基底的方向延伸形成与所述基底间隔的阻挡结构，所述阻挡结构沿所述振膜的振动方向的正投影位于所述基底靠近所述背腔一侧的边缘上。通过在振膜上设置的阻挡结构，有效的避免异物经由背腔进入第一振动空间，提高了MEMS麦克风芯片的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 芯片 | ||
【主权项】：
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