[发明专利]一种用于精密运动控制的反演抗积分饱和方法有效
| 申请号： | 202010616267.9 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111624870B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 武志鹏;李璟;王丹;孟璐璐;胡丹怡 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于精密运动控制的反演抗积分饱和方法，包括：通过精密运动平台机械台体参考位置和实际位置之间的位置偏差，得到精密运动平台机械台体的控制量；将控制量经过预设饱和环节以及超前饱和环节，判断控制量是否处于即将积分饱和的状态；若控制量处于即将积分饱和的状态，则根据利用预设饱和环节得到的控制量和利用超前饱和环节得到的控制量，得到修正后的控制量；将修正后的控制量发送给预置的驱动器，以利用驱动器根据修正后的控制量驱动精密运动平台机械台体进行定位运动和匀速扫描运动。可抑制积分饱和现象，减小精密运动平台的定位运动和匀速扫描的建立时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 精密 运动 控制 反演 积分 饱和 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010616267.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
