[发明专利]电阻式随机存取存储器及其制造方法在审
申请号: | 202010618203.2 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN113889568A | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 吴伯伦;许博砚 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 张娜;臧建明 |
地址: | 中国台湾台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种电阻式随机存取存储器,包括:介电层、下电极、数据储存层、隔离结构、第一储氧层、第二储氧层以及上电极。下电极突出于介电层的顶面。数据储存层共形地覆盖下电极与介电层。隔离结构配置在下电极上。第一储氧层配置在隔离结构的第一侧处的数据储存层上。第二储氧层配置在隔离结构的第二侧处的数据储存层上。隔离结构分隔第一储氧层与第二储氧层。上电极配置在第一储氧层与第二储氧层上且被第一储氧层与第二储氧层共享。另提供一种电阻式随机存取存储器的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 电阻 随机存取存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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