[发明专利]一种平面光学元件旋转平移绝对检测中心对准方法有效
| 申请号： | 202010618708.9 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111707191B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 朱学亮;沈帆帆;田爱玲;王红军;刘丙才;万鑫 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 李凤鸣 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种平面光学元件旋转平移绝对检测中心对准方法。首先在被测光学元件表面上选取一个特征标记点，被测光学元件绕光轴作多次旋转操作时,记录变动后特征点的位置，标记点轨迹是以旋转中心为圆心的圆，将标记点轨迹进行拟合得出旋转中心像素坐标。获取参考面上多个边缘坐标点同样进行圆拟合，得到参考面的圆心像素坐标。得到参考面中心与旋转中心的偏离距离，用调整机构分别在X,Y方向上调整旋转平台位置,使其与参考面中心重合。该方法采用最小二乘法拟合圆形轨迹，得到参考面和旋转中心，从而达到精确对准的目的，为波面重建提供较准确的波面信息，从而提高绝对检测的精度，具有很重要的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 光学 元件 旋转 平移 绝对 检测 中心 对准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安工业大学，未经西安工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010618708.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
