[发明专利]一种用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法

摘要

本发明公开一种用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，包括步骤：每间隔25‑35天，取工作槽内槽液总体积的8‑12％，通过膜过滤系统过滤得到清液和浓液，将清液中加入适量抑制剂和整平剂作为新的工作液补充至工作槽，浓液排出；其中，所述膜过滤系统用于过滤分离分子量500以上的物质。本发明的工作液补充方法，通过将部分槽液经膜过滤系统过滤得到清液，顺利的去除掉槽液中对电镀体系有害的抑制剂和整平剂的分解产物，清液中再加抑制剂和整平剂作为新的工作液补充至工作槽，避免了硫酸、硫酸铜及光亮剂的浪费，减少大量废水处理及资源浪费，同时也节约了操作时间及人工。