[发明专利]一种存储单元及其操作方法和制备方法

摘要

一种存储单元及其操作方法和制备方法，其中，存储单元包括：衬底、设置在所述衬底中的源极和漏极、堆叠栅和侧墙；所述堆叠栅设置在所述源极和漏极之间的所述衬底上，包括沿远离所述衬底依次设置的隧穿氧化层、电荷俘获层、反铁电薄膜层和栅电极；所述栅电极用于提供控制电压；所述反铁电薄膜层用于在所述控制电压的作用下增强所述隧穿氧化层上的电场，增加所述隧穿氧化层的能带的弯曲程度；所述电荷俘获层用于俘获从所述衬底注入的电荷存储信息。本发明的存储单元工作电压低、存取速度快、功耗低。