[发明专利]一种固体润滑薄膜及其制备方法和用途

摘要

本发明公开了一种固体润滑薄膜及其制备方法和用途。所述固体润滑薄膜包括由MoS2层和Mo‑S‑N复合层交替连接形成的多层结构膜，所述MoS2层和Mo‑S‑N复合层的厚度均为纳米级厚度，所述Mo‑S‑N复合层为N掺杂MoS2复合层。本发明的固体润滑薄膜中，纳米级厚度的MoS2层和Mo‑S‑N复合层交替堆叠，得到纳米级或微米级的多层结构膜，所得固体润滑薄膜呈现为高强度、低摩擦、长寿命等优异性能的真空润滑，有效实现了过渡族金属二硫化物基固体润滑薄膜机械性能和润滑性能的协同优化。