[发明专利]热电堆传感器的制作方法有效
| 申请号： | 202010622619.1 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN112038476B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 黄河 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H10N10/01 | 分类号： | H10N10/01;B81C1/00;G01J5/12 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热电堆传感器的制作方法,通过在具有热电堆结构的热电堆结构板上依次形成第一互连层和支撑材料层，且第一互连层中形成有第一导电互连结构，所述支撑材料层中形成有用于制作第一空腔的图形化牺牲结构，由此在将基板和支撑材料层键合后，可以通过释放孔工艺将图形化牺牲结构去除来形成第一空腔，并将第一互连层置于热电堆结构板下方，进而既能简化工艺，降低成本，又可以避免第一互连层对热辐射的直接吸收。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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