[发明专利]用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统在审
| 申请号： | 202010623027.1 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111766406A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 吴启东 | 申请（专利权）人： | 合肥兆科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00;G01Q80/00;G01T1/29 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 邓盛花 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市肥西县桃*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，包括旋转环、旋转头组件、90度直角转接器、旋转驱动器组件，所述旋转头组件设置有多组，且旋转头组件安装在旋转环上，所述90度直角转接器的一端连接旋转环，所述90度直角转接器的另一端连接旋转驱动器组件，所述旋转驱动器组件通过90度直角转接器改变动力方向，本发明通过本地控制器及远程上位机可实现同心圆三维快速电动步进扫描，设计结构紧凑，密封性强，体积小，移动精度高，同时便于根据实际情况测量要求跟换相对应探头以满足测量要求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 科学实验 装置 同心圆 三维 电动 步进 扫描 系统 | ||
【主权项】：
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