[发明专利]一种显微角分辨透射光相位信息表征系统及其测量方法在审

专利信息
申请号: 202010623578.8 申请日: 2020-07-01
公开(公告)号: CN111624161A 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 郝加明;李晓温;俞伟伟;文政绩;周子骥;刘锋 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G01N21/25 分类号: G01N21/25;G01J3/45;G01J3/02;G01J9/02
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种显微角分辨透射光相位信息表征系统及其测量方法,该装置分为光路1和光路2,两条光路均具有显微功能,两个样品平台前的透镜为物镜,可当作傅里叶变换器件,实现样品发出光的角度与物镜焦平面上位置的对应关系;后端1/4波片、检偏器对光进行调制,最后透过透镜将光汇聚到像平面。本装置可同时测量样品微区域不同入射角度条件下透射光的强度和相位信息,即可获取透射光谱的全面信息,为超构材料、光学天线、等离激元阵列等人工微纳结构以及光学薄膜、自然材料等体系提供一种实用的光谱检测技术。
搜索关键词: 一种 显微 分辨 透射 相位 信息 表征 系统 及其 测量方法
【主权项】:
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