[发明专利]微结构制备装置及方法有效
申请号: | 202010624051.7 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111717886B | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 林胜钊;张家铭 | 申请(专利权)人: | 香港中文大学(深圳);深圳市人工智能与机器人研究院 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;G09F9/30 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 蒋姗 |
地址: | 518100 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供一种微结构制备装置及方法,涉及微结构阵列制作工艺技术领域。所述方法包括:所述装置包括压强控制器、密封容器、第一网格和固化器,所述第一网格和所述固化器设置在所述密封容器内,所述压强控制器与所述密封容器连通;所述第一网格用于使溶液基于液体特性从所述第一网格的网孔中悬垂;所述压强控制器用于调节所述密封容器中的压强,以基于所述压强和所述液体特性调整所述溶液的悬垂状态;所述固化器用于在所述网孔上的溶液的悬垂状态构成指定微结构阵列形貌时对所述溶液进行固化,以获得具有指定微结构的柔性衬底。上述装置及方法制备的微结构阵列规则有序可控,且一次成型、工艺简单、成本低。 | ||
搜索关键词: | 微结构 制备 装置 方法 | ||
【主权项】:
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