[发明专利]激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 202010625999.4 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111780721B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 何兵;刘美忠;杨依枫;王汉斌;李炳霖;咸昱桥;邹星星 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;G01C9/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法，装置包括激光光源、分束镜、反射镜、缩束器、待检测激光分束器、成像系统和图像探测系统。本发明将激光光源分束成检测光和参考光，两束光共同入射待检测激光分束器，可将栅线垂直度情况转换成两束光各自衍射光束组的倾斜图像。通过比较和计算图像探测系统上两束光各自衍射光束组的相对位置，可实现栅线垂直度的非接触式快速检测，并且可进一步计算该垂直度，为激光分束器的制造修正系统提供参考。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 分束器栅线 垂直 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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