[发明专利]一种超高纯铜锰合金及其处理方法有效
| 申请号： | 202010626378.8 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111705276B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;慕二龙 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/08 | 分类号： | C22F1/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高纯铜锰合金及其处理方法，所述处理方法包括：将所述超高纯铜锰合金依次进行锻造、热处理及轧制；其中，所述轧制中下压量为4‑5mm/道次。本发明提供的处理方法，通过对处理过程的各步骤前后顺序的严格限定及轧制中下压量的合理设计，显著的提高处理后的超高纯铜锰合金的硬度，并保证晶粒的大小可以满足溅射性能的要求，进而保证超高纯铜靶材产品溅射过程性能的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 合金 及其 处理 方法 | ||
【主权项】：
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