[发明专利]一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置有效
| 申请号： | 202010626810.3 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111810755B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 李波;雷明准;徐淑玲;卯鑫;尹洲;李纯元;刘松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | F16L51/03 | 分类号： | F16L51/03 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 张乾桢 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置，包括三段同心安装的波纹管：波纹管一，波纹管二，波纹管三，以及法兰一，限位杆，法兰二，法兰三，伸缩拉杆，法兰四，驱动杆，所述三段同心安装的波纹管最外层为波纹管一，中间层为波纹管二，最内层为波纹管三；当驱动杆向真空室内和外移动时，由限位杆、波纹管和伸缩拉杆的相互位置作用，进而实现金属波纹管真空密封装置的双直线运动补偿，可以获得比单一金属波纹管更多的补偿量，同时可以避免金属波纹管拉伸导致塑性变形，具有定位准确、不破坏真空、省时、省钱、高效等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双向 直线 补偿 多层 金属 波纹管 真空 密封 装置 | ||
【主权项】：
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